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        IUVSTA劃分的真空科學與技術的分支學科
         

          真空科學與技術作為獨立的科學體系還是從20世紀初開始的。這時由于電子器件,原子能,航天技術對真空環境的需求,極為迫切,從而大大的推動了這一技術的發展。除了作為獲得,檢測,真空系統及其元件等產品的自身發展借以配合許多科學創新的條件和手段外,由于現代科學技術的相互交叉與滲透,因此又極大的豐富了真空科學與技術的內涵。尤其是“超高真空”,“超清潔表面”的出現,揭示了自然界中許多新穎的現象和規律,其中納米技術的發展就是很好的例證。目前“真空科學與技術”包括了諸多的學科分支,表1-1給出了“國際真空科學技術與應用協會(IUVSTA)的劃分方法及其分支學科的內容?!?br />

        真空科學與技術的分支學科

        分支學科
        分支學科的內容

        經典真空技術

        真空獲得,測量,檢漏,真空系統及元件。

        真空冶金

        真空熔煉鑄造,真空脫氣鑄造,真空熱處理,真空焊接,真空還原蒸留炭化,單晶體制備,表面處理。

        等離子體科學與技術

        等離子體在磁控濺射,離子鍍等設備的應用。等離子體化學氣相沉積,高純度單晶薄膜制備,等離子體顯示器件。

        薄膜科學與技術

        真空蒸發鍍,真空濺射鍍,真空離子鍍,化學氣相沉積。

        電子材料和加工工藝

        真空電子器件,半導體材料,光電材料,敏感材料,薄膜電子材料,薄膜材料,智能材料,沉積加工工藝,外延生長技術,掩膜和刻蝕等。

        表面科學

        固體表面電子結構,原子結構的研究,超高真空掃描隧道顯微鏡,表面性能測試。

        應用表面科學

        紫外光電子能譜分析離子中和譜、X光電子能譜等表面分析儀器。

        納米科學與技術

        納米材料的制備,納米生物學,納米機械與納米動力學,納米電子學,納米醫療。

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